Caracterização de dispositivos Otto chip por reflectometria óptica de varredura

Abstract

O fenômeno de Ressonância de Plásmons de Superfície (RPS) tem sido amplamente aplicado ao projeto e construção de sensores ópticos em tempo real. Com poucos dispositivos em fase comercial e cabíveis de serem empregados em sistemas de medição embarcados, a possibilidade de sensor plasmônico integrado confiável é uma busca tecnológica em aberto. Desta necessidade surge o Otto chip, dispositivo em substrato de silício que implementa a configuração de Otto a partir de técnicas de microfabricação. Este trabalho propõe a técnica de reflectometria óptica de varredura para caracterização destes dispositivos e busca identificar parâmetros de qualidade, confiabilidade e modos de operação do transdutor. Quatro versões diferentes do Otto chip são caracterizadas com esta técnica, em conjunto com a caracterização por microscopia óptica a fim de obter informações sobre qualidade de selamento entre camadas, regiões de desgaste do substrato e área da região ativa, tida como a região onde o fenômeno de RPS é observado. As etapas de caracterização indicam que o Otto chip é uma plataforma apta à ser empregada como sensor RPS e é um dispositivo estável do ponto de vista estrutural, portanto, apto à ser empregado em um sistema embarcado de medição.